அச்சிட்ட மின்சுற்று வழிகள்
அமிழ்வித் gig GES தொட ுகை
திரட்டித்
தொடுகை
நைட்டிரேட் , சிலிகான்
தொடுகை
16 6 7
|
பபப]
Pe
“lege
கா
|
2S
வ
6 ப்ப
சிலிகான்
HBG
படம்
(ஆ)
12
ப்தி of
1
உலோகத் தொடுகைகள் வீழ்படிவு செய்யப்படு கின்றன. இப்பொழுது செர்மெட் தடைகள் அவை பயன்படுத்தப்பட்டால், வீழ்படியச் செய்யப்படுகின் றன. பின்னர் அலுமினிய இடையிணைப்பு வளிமம்வீழ்படியச்
அல்லது
உலோக
பரப்பிலேயே
ஓர்
உலோக
ஆக்சைடு
உறுப்பு அமைகிறது. இதைப்போல ஓர் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுவழித்தடையினுடைய பரப்பில் 4% அளவிலேயே ஓர் உலோக ஆக்சைடு சிலிகான் நுட்ப முறையில் செய்யத் தடை அமைதிறது. கருவித் தொழில் நுட்ப இயலில் வளரும் ஓவ்வொரு புதிய முன்னேற்றமும் வரைப்டத் தொழில்நுட்ப முறையில் ஒரு புதிய தேவை யையும் நுணுக்கத்தையும் உருவாக்குகிறது. துல்லிய மான செயல் செயல்பாட்டில் ஒரு புதிய போட்டியை உருவாக்குகிறது.
தொழிலகச்
செயல்முறைகள்.
வழக்கிலுள்ள
குனித்தனிச் சில்லுகளாகவெட்டப்படுகின்றது. உடனே, இந்தச் சில்லுகளில் ஒரு மின்கலத்தில் பொன் கம்பி முனைகள் வெப்ப அமுக்கவிணைப்பு முறையில் இணைக்
1.
பொருள்
2.
படல
ஆகியவைகாட்சிச்
சோதனைகளுக்கு உட்படுத்தி இந்தச்
சுற்றுவழிகள் சோதிக்கப்படுகின்றன. இங்குக் கூறிய செயல்முறைகளின் படி நிலைவரிசைகள் மிகமிக எளிய ஒருங்கிணைந்த சுற்றுவழிகளுக்கே பொருந்தும். சுருக் கத்திற்காக பட்டன.
இங்கு
இவை
எளிமைப்படுத்தித்
தரப்
Techniques).
பேரளவு
ஒருங்கிணைந்த
சுற்றுவழிகளை
உருவாக்குவதற்கான தொழில் நுட்ப முறைகள் பல விளக்கப்பட்டுள்ளன. பல்வேறு சுற்றுவழிகளுக்கு அவற்றின் இடையிணைப்புகளையும் இவை ஒரே படலத்துண்டில் உருவாக்கவல்லன. இவ்வித அணுகு முறை ஒன்றில் படலத்துண்டில் அமைந்த தனித்தனி சுற்றுவழிகள் கணிப்பொறி மூலம் சோதிக்கப்பட்டு முழு meters)
சுற்று வழிக்கான
சுட்டளவுகளைத்
தீர்மானிக்கின்ற இடையிணைப்புகள்
யப்படுகின்றன.
பட ஒளிப்பட டளைகளைத்
கணிப்பொறி
வரைரவிக்கான
(Para-
கண்டறி
தன்னியக்கப்படுத்தப்
(Photo
plate) கட்
தந்து இடையிணைப்புக்குத் தேவையான
கலைப்படத்தை உருவாக்குகிறது. பிறகே படலத் துண்டில் இடையிணைப்புகள் செய்யப்படுகின்றன.
புலவிளைவுக் கருவிகள் பரவலாகக் கிடைத்தால் வியத்தகு முன்னேற்றங்களை இத்துறையில் காண நேரும்.
இந்தக் கருவியின் உலோக
தொழில்
நுட்பத்தால்
௮.௧.1-14
(diffusion)
பொருளை
அகற்றுதல்
வீழ்படிவு 4.
அல்லது
வெட்டி
(film deposition)
அச்
தொழிலகச் பிரிக்கலாம். எடுத்தல்,
3.
விரவல்
அச்சுருக்களில் வார்த்தல்,
அகற்றும்
முறை.
பொருளை
அகற்றும்
செயல்முறையில் ஒளிப்பொறிப்பு முறையும் துளைப் பொறிப்பு முறையும் பரவலாகப் பயன்படுகின்றன. இவை அச்சிட்ட மின்சுற்றுவழிகளைச் செய்யப் Guyer வில் பயன்படும் நுட்பங்களாகும்.
ஒளிப்பொறிப்பு
முறை.
ஒளிப்பொறிப்பு
முறையில்
பொறிப்புப் பொருளின் எதிர்ப்பு வடிவம் (conductor pattern) ஒளிப்படல இயலாக உருவாக்கப்படுகிறது.
செம்பு கிறது.
மின்படலம் ஒளிப்புலன் பசையால் பூசப்படு இதில் ஒளிஎதிர்நகல் சுற்றுவழியின் ஒளிஎதிர்
நகல் வடிவம் பசையின் மேல் படியச் செய்யப்படுகிறது.
வளர்ச்சியடைந்த தொழில் நுட்ப முறைகள் (Advanced
சிக்கலான
சிலிக்கான்
தொழில் நுட்ப முறையில் செய்யப்பட்டச்செயல்பாட்டு
சிட்ட மின்சுற்றுவழிகளை உருவாக்கும் செயல்முறைகளை நான்கு வகைகளாகப்
கள் பிணைக்கப்படுகின்றன. இந்த உறை சூழலிலிருந்து முற்றிலும் தனிப்படும்படி அடைக்கப்படுகின்றது. இறுதியில், மின்னியல் சோதனைகள் செய்த அளவு,
மின்காப்பு,
அரைக்கடத்தி தொழில் நுட்பங்களா லும் செய்யப்படுவ துண்டு. ஒருங்கிணைந்த திரிதடையத்தைப்போல 49
செய்யப்படுகின்றது. உடனே ஒருங்கிணைந்த மின் சுற்றுவழிகள் மின்னியல் சோதனைக்கு ஆட்படுத்தப் படுகின்றன. பின் ஓர் அங்குல விட்டப் படலத்துண்டு
கப்படுகின்றன. பிறகு, இந்தச் சில்லு ஓரு பாதுகாப்பு உறைக்குள் இடப்படுகிறது. பொதுவாக இது தட்டை யாக இருக்கும். இந்த உறையின் புறக்கம்பி இணைப்பு
105
ஆக்சைடு
செய்யப்படுகின்றன.
சிலிகான்
உலோக
பிறகு இது ஓர் ஊதாக் கதிருக்கு ஆட்படுத்தப்படும்.
இது ஒளிப்பட நேர்மூலத்தை உருவாக்குவதை ஒத்ததே. புற ஊதாக் கதிருக்குஆட்படும்போது ஒளிப்பசை கடினம் உறுகிறது. இந்தத் தட்டு பின்னர் சாராயத்தில் அலசப் படுகிறது. கதிர்படாத செம்பு மென்படலத்திலுள்ள பசை இந்நிகழ்வின்போது கரைந்து விடும். எனவே கதிர்பட்ட பரப்புகள் கரையாமல் வன்மையாகப்படலத் தின் மேல் அமைந்திருக்கும், இது அடுத்து நிகழும் பொறிப்புச் செயல்முறையின் போது செம்பு மென் படலத்தைக் காக்கிறது. மூடப்படாத செம்பு ஓர் அமிலத்திற்குள் அல்லது பெரிக்குளோரைடு பொறிப்புப் பொருள் தொட்டிக்குள் இட்டுக் கரைக்கப்படும். இறுதி யில்
கடினமான
பசை
கதிர்பட்ட
பரப்புகளில்
இருந்து
கரைக்கப்படும். இறுதியில் செம்புக் கடத்தி வடிவம் மிஞ்சும். மற்றொரு மாற்று முறையும் பெருவழக்கில் உள்ளது. இதில் நேர்நகல் வடிவம், பசையின் மேல் படியச் செய்து கதிர் வீச்சுக்கு ஆட்படுத்தப்படும். கதிர் படாத பசை நீக்கப்பட்டு இறுதியில் கதிர் பட்ட சுற்றுவழி வடிவத்தின் மேல் மின் முலாம்பூசும் முறை யில் சுற்றுவழியின் அச்சுத்தட்டு உருவாக்கப்படுகிறது.
